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Untersuchung und Optimierung neuartiger Plasmaverfahren zur Siliciumnitrid-Beschichtung von Silicium-Solarzellen
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Untersuchung und Optimierung neuartiger Plasmaverfahren zur Siliciumnitrid-Beschichtung von Silicium-Solarzellen, Thomas Lauinger
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 2001
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- Titel
- Untersuchung und Optimierung neuartiger Plasmaverfahren zur Siliciumnitrid-Beschichtung von Silicium-Solarzellen
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Thomas Lauinger
- Verlag
- Shaker
- Erscheinungsdatum
- 2001
- ISBN10
- 3826595939
- ISBN13
- 9783826595936
- Reihe
- Berichte aus der Halbleitertechnik
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher