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Entwicklung und Charakterisierung eines integrierten kapazitiven Hochtemperaturdrucksensors

Autoren

Klaus Kasten

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Fortschrittberichte VDI : Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik

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Entwicklung und Charakterisierung eines integrierten kapazitiven Hochtemperaturdrucksensors, Klaus Kasten

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Erscheinungsdatum: 2002

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