Mikrotechnische Drehratengyroskope mit hoher Genauigkeit

Mit Gyroskopen wird die physikalische Größe Winkelgeschwindigkeit ohne Verwendung einer äußeren Referenz gemessen. Für viele existierende und neu zu entwickelnde Anwendungen werden mikrotechnische Gyroskope aufgrund ihrer kleinen Baugröße und der bei großen Stückzahlen äußerst kostengünstigen Herstellungsverfahren von großer Bedeutung sein. In der vorliegenden Arbeit wird, basierend auf verschiedenen potentiellen Anwendungen, eine Targetspezifikation für ein mikromechanisches Gyroskop aufgestellt. Aufbauend auf dem umfassend erläuterten Stand der Technik werden neue Konzepte entwickelt, um diese Spezifikation zu erreichen. Das entwickelte theoretische Modellsystem ermöglicht eine analytische Beschreibung von mikromechanischen Gyroskopen unter Berücksichtigung von Temperatureffekten und Störbeschleunigungen, Wie der Vergleich mit den dargestellten Messungen zeigt, können mit diesem Modell die Leistungsparameter mikromechanischer Drehratensensoren sehr genau vorherbestimmt werden, wodurch eine effiziente Optimierung möglich ist.