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Untersuchung von Kobaltsilizid-Prozessen für die Anwendung an Basis-Kontakten integrierter Si-SiGe-Heterobipolartransistoren

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Jörg Markus Hohaus

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Skripten & Universitätslehrbücher

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Untersuchung von Kobaltsilizid-Prozessen für die Anwendung an Basis-Kontakten integrierter Si-SiGe-Heterobipolartransistoren, Jörg Markus Hohaus

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Erscheinungsdatum: 2004

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