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Prozessparameter und ihr Einfluss auf die Schwindungsgenauigkeit von hochintegrierten keramischen Mehrlagenschaltungen

Autoren

Matthias Wagner

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Berichte aus der Werkstofftechnik

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Prozessparameter und ihr Einfluss auf die Schwindungsgenauigkeit von hochintegrierten keramischen Mehrlagenschaltungen, Matthias Wagner

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Erscheinungsdatum: 2005

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