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Modellierung und Simulation orientierungsabhängiger Ätzprozesse in Silizium
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Modellierung und Simulation orientierungsabhängiger Ätzprozesse in Silizium, Anton Horn
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 2006
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- Titel
- Modellierung und Simulation orientierungsabhängiger Ätzprozesse in Silizium
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Anton Horn
- Verlag
- Shaker
- Erscheinungsdatum
- 2006
- Einband
- Paperback
- ISBN10
- 3832248269
- ISBN13
- 9783832248260
- Reihe
- Ausgewählte Probleme der Elektronik und Mikromechatronik
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher