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Züchtung und Dotierung von SiC-Einkristallen mit dem modifizierten Gasphasen-Züchtungsverfahren

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Ralf Müller-Terpitz

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Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: Berichte aus der Halbleitertechnik

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Züchtung und Dotierung von SiC-Einkristallen mit dem modifizierten Gasphasen-Züchtungsverfahren, Ralf Müller-Terpitz

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Erscheinungsdatum: 2006

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