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Einfluss der Aufbau- und Verbindungstechnik auf die funktionalen Eigenschaften thermomechanisch belasteter Sensoren

Autoren

Sebastian Fischer

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Kategorien

Skripten & Universitätslehrbücher

Reihe: MEMS technology and engineering

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Einfluss der Aufbau- und Verbindungstechnik auf die funktionalen Eigenschaften thermomechanisch belasteter Sensoren, Sebastian Fischer

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Erscheinungsdatum: 2006

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