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Elektrostatische Faserschalter in Silicium-Volumenmikromechanik

Autoren

Dirk Nüsse

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Skripten & Universitätslehrbücher

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Elektrostatische Faserschalter in Silicium-Volumenmikromechanik, Dirk Nüsse

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Erscheinungsdatum: 2007

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