Magnetische Eigenschaften mikrotechnischer Magnetkreise

Ein wichtiger Bestandteil elektromagnetischer Aktoren sind Flussführungen aus weichmagnetischen Materialien. Diese Komponenten können zu einer Erhöhung der Leistungsfähigkeit durch Verringerung der Widerstände des magnetischen Kreises beitragen oder sogar essentiell für die Funktionsweise sein, indem sie eine gezielte Führung des magnetischen Flusses ermöglichen. Für die Auslegung und Simulation solcher Aktoren ist es daher von großer Wichtigkeit, dass die magnetischen Eigenschaften solcher Komponenten zur Verfügung stehen. Für die Fertigung von elektromagnetischen Mikroaktoren ist die Herstellung von Flussführungsstrukturen durch galvanische Abscheidung ein gängiges Verfahren. Als genutztes Material ist CoFe auf Grund der großen Sättigungsflussdichte Bs von großem Interesse. In dieser Arbeit wird die Optimierung weichmagnetischer Eigenschaften und Charakterisierung von Flussführungsstrukturen vorgestellt. Im ersten Teil wird die Entwicklung eines galvanischen Abscheideprozesses von CoFe dargestellt mit dem Ziel optimierter Eigenschaften. Der zweite Teil stellt die Herausforderungen bei der Anwendung des VSM-Messverfahrens auf Komponenten von Mikro-Magnetkreisen dar und es erfolgt die Weiterentwicklung des nötigen Korrekturverfahrens unter Berücksichtigung des Einflusses entmagnetisierender Felder. Auf Basis dieser zwei Teile erfolgt schließlich die Charakterisierung der Magnetkreiskomponenten.