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In einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Dünnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. Die Untersuchung der Eignung des magnetoresistiven Materials zur Positionsermittlung ist Ziel dieser Arbeit. Zur vergleichenden Bewertung werden kapazitive und resistive Referenzsensoren herangezogen.
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Integrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem, Daniel Auernhammer
- Sprache
- Erscheinungsdatum
- 2012
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- Titel
- Integrierte Lagesensorik für ein adaptives mikrooptisches Ablenksystem
- Sprache
- Deutsch
- Autor*innen
- Daniel Auernhammer
- Verlag
- KIT Scientific Publ.
- Erscheinungsdatum
- 2012
- ISBN10
- 3866448295
- ISBN13
- 9783866448292
- Reihe
- Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
- Kategorie
- Skripten & Universitätslehrbücher
- Beschreibung
- In einem mikrooptischen Ablenksystem sollen die sensorischen Eigenschaften der ferromagnetischen Formgedächtnislegierung Ni-Mn-Ga untersucht werden. Dabei kommt ein elektro-thermisch aktivierbarer, durch einen Permanentmagneten vorausgelenkter Dünnfilm-Biegeaktor zur Strahlablenkung zum Einsatz. Die Untersuchung der Eignung des magnetoresistiven Materials zur Positionsermittlung ist Ziel dieser Arbeit. Zur vergleichenden Bewertung werden kapazitive und resistive Referenzsensoren herangezogen.