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Mechanics of Microelectromechanical Systems

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This book provides an in-depth analysis of microelectromechanical systems (MEMS) from a mechanical engineering perspective. It explores energy transformation in MEMS, offering tools for modeling and designing microsystems. The work includes analytical and simplified formulas for flexible components and examines actuation/sensing methods with practical examples.

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Mechanics of Microelectromechanical Systems, Ephrahim Garcia, Nicolae Lobontiu

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Erscheinungsdatum: 2004
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Titel: Mechanics of Microelectromechanical Systems
Sprache: Englisch
Autor*innen: Ephrahim Garcia, Nicolae Lobontiu
Verlag: Springer / Springer Netherlands / Springer US
Erscheinungsdatum: 2004
Einband: Hardcover
ISBN13: 9781402080135
Schlagwörter: Lehrbücher, Technik & Maschinenbau, Lehrbücher für weiterführende Schulen
Bewertung: 4 von 5 Sternen
Beschreibung: This book provides an in-depth analysis of microelectromechanical systems (MEMS) from a mechanical engineering perspective. It explores energy transformation in MEMS, offering tools for modeling and designing microsystems. The work includes analytical and simplified formulas for flexible components and examines actuation/sensing methods with practical examples.