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Optimierung der Plasmaparameter zur Abscheidung von kubischem Bornitrid in Hohlkatodenbogen

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  • 148 Seiten
  • 6 Lesestunden

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Optimierung der Plasmaparameter zur Abscheidung von kubischem Bornitrid in Hohlkatodenbogen, Jochen Ulmer

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1999
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(Paperback)
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