Das Buch ist derzeit nicht auf Lager
Polysilizium-Heaterstrukturen für den Einsatz in hochbeschleunigten Zuverlässigkeitstests auf Waferebene
Autoren
76 Seiten
Mehr zum Buch
Die Bachelorarbeit beschäftigt sich mit der Entwicklung hochbeschleunigter Zuverlässigkeitstests auf Waferebene unter Einsatz von In-Situ-Heizelementen aus polykristallinem Silizium. Nach einer Einführung in die Zuverlässigkeitstheorie werden verschiedene Zuverlässigkeitstests analysiert, die derzeit zeitaufwändig sind. Die Arbeit schlägt einen innovativen Ansatz vor, bei dem ein Polysilizium-Widerstand direkt in die Struktur integriert wird, um die Wärmequelle zu optimieren. Zudem werden thermische Simulationen zur Wärmeausbreitung durchgeführt und Möglichkeiten zur Temperaturmessung an den Teststrukturen erörtert.
Buchvariante
2012, paperback
Buchkauf
Wir benachrichtigen dich per E-Mail.