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Nitridgebundenes Siliziumnitrid

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Veronika Schneider

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Diese Dissertation untersucht den Einsatz alternativer, mehrmalig einsetzbarer Tiegel aus Siliziumnitrid (Si3N4) für die gerichtete Erstarrung von Silizium. Das Potential der Tiegel wird systematisch evaluiert, wobei die Untersuchungen auf die Benetzung der Tiegel durch das flüssige Silizium, auf deren Wiederverwendbarkeit sowie auf die Verunreinigung des Siliziums durch die Tiegel fokussiert sind.

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Nitridgebundenes Siliziumnitrid, Veronika Schneider

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Erscheinungsdatum: 2015

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Titel: Nitridgebundenes Siliziumnitrid
Sprache: Deutsch
Autor*innen: Veronika Schneider
Verlag: Fraunhofer Verlag
Erscheinungsdatum: 2015
ISBN10: 383960950X
ISBN13: 9783839609507
Schlagwörter: Lehrbücher, Universitätslehrbücher
Beschreibung: Diese Dissertation untersucht den Einsatz alternativer, mehrmalig einsetzbarer Tiegel aus Siliziumnitrid (Si3N4) für die gerichtete Erstarrung von Silizium. Das Potential der Tiegel wird systematisch evaluiert, wobei die Untersuchungen auf die Benetzung der Tiegel durch das flüssige Silizium, auf deren Wiederverwendbarkeit sowie auf die Verunreinigung des Siliziums durch die Tiegel fokussiert sind.