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Entwicklung und Optimierung einer Technologie zur Herstellung ultradünner Chips mit Hilfe von Siliziumwafern mit vergrabenen Kavitäten

Autoren

Martin Zimmermann

Parameter

ISBN: 9783862470471
Verlag: Der Andere Verl.

Kategorien

Skripten & Universitätslehrbücher

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2010, paperback

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